日本产业技术综合研究所的研究组与CHINO株式会社合作成功研发出能够在1000℃附近高温区准确测定温度的白金电阻温度计。

以往,在半导体制造等需要对温度进行准确测定的场合,都是采用以白金(铂)丝为传感器的白金电阻温度计。然而,在1000 ℃附近的高温区,白金的电阻率并不稳定,而且白金丝自身也会产生热扭曲,所以很难实现高精度测量。

为了开发在1000 ℃高温区也能具有稳定电阻率的温度传感器,课题组对市场上销售的白金电阻温度计进行分析研究后,对其传感器进行适当的热处理,再利用日本国家标准的水三相点装置和银凝固点装置反复进行热循环试验,分析不同温度下的电阻值变化情况。结果发现,经过热处理后,铂温度传感器在1000 ℃附近的电阻变化实现最小化,温度计性能更加稳定。此外,通过对铂丝的结构进行调整优化,使其热扭曲程度得到减轻。

新开发的温度计在银凝固点的961.78℃,测量值变动范围为±0.001度(以前为0.01度);在水三相点的0.01℃,测量值变动也稳定在±0.0005度以内,达到世界最高水平。

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